De Fourier Transform Infrared Spectroscopie (FTIR) -analysator wordt gebruikt in de halfgeleiderindustrie. FTIR is een spectraalanalyse-instrument dat infraroodspectroscopie gebruikt om de onzuiverheidsconcentratie te analyseren via Fourier-transformatie. De spectrometer bestaat hoofdzakelijk uit een lichtbron (siliciumkoolstofstaaf, hogedrukkwiklamp), Michelson-interferometer, detector en interferometer
Het door de infraroodlichtbron S uitgezonden infraroodlicht wordt gecollimeerd tot een parallelle infraroodstraal en komt het interferentiesysteem binnen. Na afstelling door de interferometer wordt een bundel interferentielicht verkregen. Het interferentielicht gaat door monster Sa om een interferentiesignaal te verkrijgen dat spectrale informatie bevat, dat detector D bereikt en vervolgens door D wordt omgezet in een elektrisch signaal. Het interferentiesignaal is hier een tijdfunctie, dat wil zeggen het interferentiepatroon dat door het interferentiesignaal wordt getekend. , en de horizontale as is de bewegende tijd of afstand van de bewegende spiegel. Dit interferentiepatroon wordt via een A/D-omzetter naar de computer gestuurd en de computer voert snelle Fourier-transformatieberekeningen uit om een infraroodspectrum te verkrijgen met het golfgetal als de horizontale as. Vervolgens wordt het via een D/A-omzetter naar een plotter gestuurd om een zeer bekend standaard infraroodabsorptiespectrum te tekenen.
